干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用與發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。
有些真空泵是兩個電機(jī)同步驅(qū)動,在確保全速和扭矩控制的同時,保證在泵運(yùn)行時維持無部件相互接觸;
無密封設(shè)計,確保無泄露;
通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度,從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng);輕松的輸送腐蝕性介質(zhì),安全的輸送易燃易爆氣體。
1)清潔環(huán)保;
2)真空度高;
3)防腐設(shè)計(專利技術(shù));
4)可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體(專利技術(shù));5)特殊軸封設(shè)計,杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染;
6)防過載設(shè)計;
7)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn);
8)高標(biāo)準(zhǔn)配置;
9)附件配置齊全
10)優(yōu)質(zhì)健全的零配件供應(yīng)。