羅茨真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。
羅茨真空泵被廣泛地應(yīng)用于真空獲得的各個(gè)方面,它延伸了油封機(jī)械真空泵在較低入口壓力下的工作范圍,具有小體積大抽速的特點(diǎn),在1~100pa入口壓力范圍內(nèi)具有大抽速,特別適合于低入口壓力下需要大抽速的真空系統(tǒng)中使用,例如電力變壓器、電力電容器、電力互感器的真空干燥、真空浸漬處理、真空熱處理、真空冶煉的排氣、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽,大型試驗(yàn)風(fēng)洞的抽氣及照明燈具生產(chǎn)線的排氣等等。
干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng),利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個(gè)空間、形成 多個(gè)級(jí),氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng),
無(wú)壓縮,只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對(duì) 氣體有壓縮的作用因此螺桿真空泵在半導(dǎo)體、
電子工業(yè)中要求無(wú)油潔凈真空的場(chǎng)合,以及化工制藥中對(duì)溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)勢(shì)。另外在變壓器干燥過(guò)程中旋片泵的換油頻繁及壽命問(wèn)題也可得到解決。
羅茨泵和干式螺桿泵,二者相似的地方主要體現(xiàn)在應(yīng)用領(lǐng)域上,它們都可以用在真空凍干、電力電子行業(yè)、光伏太陽(yáng)能、薄膜蒸發(fā)、抽高溫氣體、抽蒸汽、單晶硅、燈泡燈管制造(氣體置換)、焊接爐、核能工業(yè)、化工、金屬工業(yè)等工業(yè)領(lǐng)域中。