干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。

為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。

1、干式真空泵的介紹及原理

上圖為立式雙螺桿干式真空泵，它的吸氣和排氣原理和大多數(shù)是一樣的，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。

干式真空泵工作時(shí)，相互之間無摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。

由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

兩年的備品備件是標(biāo)準(zhǔn)的O型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵，并且無需過濾器。

最優(yōu)化的螺桿外形設(shè)計(jì)使功率消耗降到最低，簡單的設(shè)計(jì)可使泵腔在1小時(shí)內(nèi)在現(xiàn)場全部解體，易于清洗維護(hù)。

 2、獨(dú)特的冷卻方式

很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的縫隙被堵死，另外一個(gè)原因是由于長期運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子會(huì)由于熱脹冷縮而發(fā)生形變，造成泵的卡死。

干式真空泵的冷卻方式：

目前市面上的干泵多用夾套冷卻水對轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。

而有的立式螺桿真空泵的冷卻系統(tǒng)更獨(dú)特，比如在泵內(nèi)增加了螺桿內(nèi)部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻，很好的維持內(nèi)表面的溫度，不至于溫度過高或過低，始終維持在一個(gè)合適的溫度，以防被抽的熱敏性物質(zhì)分解，及高溫易聚合的物質(zhì)，比如HCN及MMA生產(chǎn)企業(yè)就比較適合。

  3、抽除易燃易爆及腐蝕性介質(zhì)怎么辦？

眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。

一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。

但是由于干式真空泵運(yùn)行時(shí)內(nèi)部存在苛刻的熱條件，所以使用上述耐腐蝕材料來處理腐蝕性介質(zhì)對無油干式真空泵是不適合的。

此外使用鐵劑金屬高鍍鎳涂層材質(zhì)，一旦出現(xiàn)細(xì)微的裂紋就會(huì)導(dǎo)致材料產(chǎn)生迅速的電化學(xué)腐蝕。

那么是不是只要特殊設(shè)計(jì)能可靠地控制溫度的設(shè)備把腐蝕性介質(zhì)保持在氣相狀態(tài)，沒有離子形式存在是不是就不存在腐蝕了？

答案是肯定的。該泵應(yīng)用其自身先進(jìn)的冷卻系統(tǒng)，可以調(diào)整泵腔內(nèi)及轉(zhuǎn)子的溫度，使之沒有離子形式存在，全都?xì)饣?，從而避免腐蝕。

所以此螺桿干式真空泵轉(zhuǎn)子采用不銹鋼，不做任何涂層，降低了成本，增加了安全性能。

評價(jià)爆炸的指標(biāo)
評價(jià)爆炸有兩個(gè)指標(biāo)：可燃物質(zhì)的閃點(diǎn)及燃點(diǎn)。
因?yàn)槁輻U干式真空泵中的兩個(gè)螺桿在泵體內(nèi)沒有摩擦，所以不會(huì)產(chǎn)生電火花，就沒有了火源。
另外其通過自身的冷卻系統(tǒng)降低泵內(nèi)溫度使被抽物質(zhì)的燃點(diǎn)難以達(dá)到，從而杜絕爆炸！

  4、干式真空泵的密封

泵內(nèi)既無與外界之間的軸封又無泵腔與冷卻循環(huán)水回路之間的密封，因此可以抽除有毒有害介質(zhì)。

絕大部分泵的故障都是由軸封處磨損造成的，而此泵每個(gè)軸只有一處無接觸密封，不存在由軸封損傷帶來的停機(jī)，以及軸封泄露造成齒輪箱里的油被抽到泵里，造成真空環(huán)境及排氣口污染。

 5、控制系統(tǒng)的組成

干式真空系統(tǒng)還具有最佳的控制系統(tǒng)，有獨(dú)立的工作站和總線，能很好的解決了溫度、壓力、轉(zhuǎn)速、電機(jī)同步、開停機(jī)、閥門開關(guān)和泵本身自清洗控制等問題，并且可能存在溫升的地方都增加了測溫點(diǎn)，增強(qiáng)了系統(tǒng)的安全性，使干泵系統(tǒng)能適應(yīng)化工、制藥里最嚴(yán)苛的環(huán)境。

主要由以下三部分組成：內(nèi)置基本驅(qū)動(dòng)模塊；數(shù)據(jù)總線控制柜；冷卻液泵的控制和防爆馬達(dá)控制中心。

  6、干式真空泵的特點(diǎn)

有些真空泵是兩個(gè)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)，在確保全速和扭矩控制的同時(shí)，保證在泵運(yùn)行時(shí)維持無部件相互接觸；

無密封設(shè)計(jì)，確保無泄露；

通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。

由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)；輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。

1）清潔環(huán)保；2）真空度高；3）防腐設(shè)計(jì)（專利技術(shù)）；4）可抽除可凝性氣體及少量粉塵氣體（專利技術(shù)）；5）特殊軸封設(shè)計(jì)，杜絕被抽介質(zhì)與潤滑系統(tǒng)互相污染；6）防過載設(shè)計(jì)；7）運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)；8）高標(biāo)準(zhǔn)配置；9）附件配置齊全；10）優(yōu)質(zhì)健全的零配件供應(yīng)。

7、總結(jié)

干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價(jià)格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來經(jīng)濟(jì)效益，但是干式真空泵使工作容積中無油，因此帶來了不少益處。

有些立式螺桿真空泵通過對內(nèi)表面溫度的控制以滿足新的ATEX防爆條例的要求。由于能夠維持最小的內(nèi)部溫度，從而能控制泵送氣體的冷凝和由于腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)；輕松的輸送腐蝕性介質(zhì)，安全的輸送易燃易爆氣體。

適于處理含固體微粒介質(zhì)并且不需要加過濾器。最小的維護(hù)要求，該泵無齒輪箱，同時(shí)對于泵無需更換和檢測潤滑系統(tǒng)。具有20,000 小時(shí)平均無故障時(shí)間；

完全電子智能化設(shè)計(jì)，可以很方便地全方位與DCS系統(tǒng)聯(lián)接，通過Modem聯(lián)接可以實(shí)現(xiàn)就地和遠(yuǎn)程控制；

輔助模塊的模塊化設(shè)計(jì)可以滿足大量的乃至是最苛刻的流程的應(yīng)用；

設(shè)計(jì)可以滿足不同的壓力要求：壓力比可高達(dá) 100,000:1 (吸入壓力< 0.01 mbar 絕壓)；吸氣量可達(dá)1,000 m3/h (更大吸氣量的泵在開發(fā)中，目前可用機(jī)械的增壓泵與干式泵組合來滿足對大的吸氣量的要求)；

噪音水平低于75Db(A)（噪音低于高檔轎車內(nèi)部分貝）

維修方便，可以快速和方便地拆卸和更換泵的內(nèi)件。