要提高羅茨真空泵的極限真空度，可以考慮以下幾個方面：

使用前級泵：將一個或多個前級泵與羅茨真空泵串聯(lián)使用。常見的前級泵包括旋片泵、渦旋分子泵、離心泵等。前級泵能夠將氣體抽取到較低的壓力范圍，然后再由羅茨真空泵進一步抽取，從而提高整個系統(tǒng)的極限真空度。

優(yōu)化密封系統(tǒng)：確保羅茨真空泵的密封系統(tǒng)良好，避免氣體泄漏。檢查和更換密封件，保持密封性能的良好狀態(tài)。

減少內部泄漏：定期清洗和維護羅茨真空泵，防止積聚灰塵和污垢，以減少內部泄漏。同時，注意排除可能導致泵內部泄漏的因素，如損壞的密封件或零件。

控制運行參數(shù)：合理控制羅茨真空泵的轉速和功率，以及進出口壓力。根據具體應用需求，調整運行參數(shù)，以達到最佳的抽氣效果和極限真空度。

定期維護和保養(yǎng)：定期進行羅茨真空泵的維護和保養(yǎng)，包括清潔、潤滑、更換磨損零件等。保持泵的良好狀態(tài)，可以提高其性能和極限真空度。

需要注意的是，提高羅茨真空泵的極限真空度是一個綜合性的問題，需要根據具體的應用場景和系統(tǒng)要求來進行調整和優(yōu)化。