干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油。

干式螺桿真空泵是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來具有極大的市場前景。干式螺桿泵通常遇到的問題是應(yīng)用和操作不當(dāng)。以下對干式螺桿泵故障進行了簡要分析。

（1）過熱和卡死

干式螺桿泵對外界的各種條件是非常敏感的，通常造成過熱的原因如下：

冷卻水的流量不夠和泠卻水的溫度過高。由于螺桿真空泵內(nèi)部溫度很高，它對于冷卻水的流量和溫度的要求比較嚴(yán)格，如果流量和溫度不符合制造廠家的規(guī)定，會導(dǎo)致泵的過熱和卡死。

入口氣體溫度過高。因為螺桿泵內(nèi)部沒有吸收熱量的液體，根據(jù)干式螺桿真空泵的設(shè)計，其泵的內(nèi)部溫度是在110℃到260℃之間，所以廠家都規(guī)定了泵的最高入口溫度，一般不允許超過70℃，如果忽略了這個問題，就會導(dǎo)致泵的內(nèi)部溫度過高，甚至泵被卡死。

與羅茨泵的配比不合理。在螺桿真空泵與羅茨真空泵選型過程中，有些參數(shù)是必須考慮的，其中最主要的是干式螺桿泵與上游羅茨真空泵的配比，亦就是容積流率之比：

SR=S1/S2

S1/S2=P2/P1

S1———羅茨泵容積流率

S2———螺桿泵容積流率

P1———羅茨泵的入口壓力

P2———螺桿泵的入口壓力

SR———級比

由于S1通常大于S2，所以P2大于P1，當(dāng)氣體通過羅茨泵以后，其排出的氣體溫度會升高，當(dāng)進入螺桿泵的氣體溫度超出允許值后，就會造成泵的過熱甚致卡死。為了可靠起見，一般SR取2～4之間。

（2）泵腔內(nèi)存在積液現(xiàn)象，造成振動和噪音增大

當(dāng)螺桿真空泵抽除可凝性氣體時，在泵的排氣口會堆積被冷凝的液體，一旦泵停車時，這些液體就返回到泵腔內(nèi)，造成泵再啟動困難，振動和噪聲增加大。如果這些液體具有腐蝕性，長時間殘留在泵腔內(nèi)，則會腐蝕螺桿和泵腔。

所以在設(shè)計真空裝置時，泵的排氣管道要低于泵的排氣口的位置，或者在泵的排氣口處安裝一臺單向閥，當(dāng)泵停車時，閥門自動關(guān)閉，以防止被冷凝的液體倒流到泵腔內(nèi)。

（3）油箱內(nèi)的潤滑油變質(zhì)

螺桿真空泵大都用于抽除可凝性氣體或腐蝕性氣體。雖然泵腔和油箱之間設(shè)有機械密封或迷宮密封，而且在密封處還有氣障保護，以防止工藝氣體進入到油箱。但是仍然會有少量工藝氣體進入到油箱，當(dāng)積累到一定程度，潤滑油就會變質(zhì)。

所以油箱里的潤滑油還是需要根據(jù)不同工藝，在3~6個月進行更換。如果被抽氣體腐蝕性很強，則需要采用耐腐蝕的氟油，以確保泵的正常運行。

（4）電機電流過高

造成這個問題的原因有：

a.過高的排氣壓力（背壓）。

b.由于冷卻水和入口氣體溫度過高，而造成螺桿之間的相互接觸。

c.工藝物質(zhì)堆積在泵內(nèi)。

上述a和b己經(jīng)在前面討論過，現(xiàn)在重點討論工藝物質(zhì)堆積問題。

眾所周知，許多真空工藝都含有化學(xué)物質(zhì)，它們在高溫下具有粘性，很容易堆積并燒結(jié)在螺桿的表面，見圖7所示，當(dāng)堆積的厚度不斷增加時，就會在螺桿與螺桿之間出現(xiàn)一個零間隙，造成相互接觸，于是在泵軸上產(chǎn)生一個附加扭矩，導(dǎo)致泵的運行電流增加。

關(guān)于工藝物質(zhì)堆積問題的解決方案，可以作如下選擇：

方案1：在螺桿泵的上游設(shè)置分離罐或過濾器。

方案2：用水蒸汽沖洗。

方案1對于延長泵的壽命是非常有利，然而這些過濾器是很昂貴，亦需要經(jīng)常維護，另外當(dāng)過濾器堵塞時，會導(dǎo)致螺桿泵對容器的有效抽速下降。

方案2用水蒸汽沖洗，雖然無需過濾器，但操作不當(dāng)，亦有可能造成對泵的損害和不能確保沖洗后的效果。沖洗時，泵要停止運行，關(guān)閉泵的入口閥門，打開泵的排氣口，從泵的入口通入水蒸汽，直到螺桿泵可以靈活轉(zhuǎn)動為止。沖洗完成后，螺桿泵仍需空轉(zhuǎn)運行20分鐘，使泵腔內(nèi)部始終保持干燥狀態(tài)。