干式真空泵是一種在各個(gè)行業(yè)中廣泛應(yīng)用的設(shè)備。它主要在半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)和薄膜工業(yè)等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用和發(fā)展。在國外市場(chǎng)，干式真空泵正處于蓬勃發(fā)展的階段。例如，在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)開始使用干式真空泵來替代傳統(tǒng)的油封機(jī)械泵，而在歐洲和美國，超過45%的半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)采用干式真空泵，這大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。

過去，半導(dǎo)體行業(yè)使用惰性氟油潤(rùn)滑油封機(jī)械泵，以防止腐蝕性氣體對(duì)油的侵蝕，但氟油價(jià)格昂貴且維護(hù)成本高。因此，干式真空泵逐漸在各個(gè)行業(yè)中得到了推廣和應(yīng)用。

干式真空泵具有許多優(yōu)點(diǎn)：

首先，由于泵內(nèi)無潤(rùn)滑油，因此無需處理廢液?jiǎn)栴}。

其次，干式真空泵無油，使得泵腔內(nèi)間隙無法保持密封，也失去了溫度控制的傳熱介質(zhì)，這對(duì)干式真空泵提出了巨大的挑戰(zhàn)。一些真空泵采用兩臺(tái)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)，確保在泵運(yùn)行時(shí)沒有部件接觸，無需密封設(shè)計(jì)，從而實(shí)現(xiàn)無泄漏，并滿足新的ATEX防爆規(guī)定的要求。

此外，干式真空泵能夠保持較低的內(nèi)部溫度，可控制泵內(nèi)氣體的冷凝和腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)，易于輸送腐蝕介質(zhì)，安全輸送易燃易爆氣體。

干式真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)的成功應(yīng)用也鼓勵(lì)干泵制造商將其引入化工行業(yè)。雖然干式真空泵價(jià)格較高，但其運(yùn)行成本較低，特別是無需處理廢液?jiǎn)栴}，對(duì)環(huán)境和健康非常有益。目前，市場(chǎng)上有多種類型的干式真空泵，包括渦旋泵、隔膜泵、干旋片泵、羅茨干泵、爪干泵和螺桿真空泵。其中，羅茨干泵、爪干泵和螺桿真空泵在化工行業(yè)中占據(jù)主導(dǎo)地位。

在制藥行業(yè)的溶劑回收中，采用羅茨泵和螺桿真空泵組成的干燥真空系統(tǒng)可以在排氣側(cè)冷凝干燥過程中的有機(jī)溶劑，實(shí)現(xiàn)溶劑的回收。由于干式真空泵腔內(nèi)沒有其他工藝介質(zhì)，節(jié)能環(huán)保，無需處理廢液?jiǎn)栴}，因此干式真空泵已成為該應(yīng)用領(lǐng)域的較佳選擇。

在石化行業(yè)的汽油蒸汽回收方面，干式真空泵是汽油蒸汽回收裝置中的關(guān)鍵設(shè)備。它可以抽取揮發(fā)性汽油蒸汽，主要成分包括C4、C5、C6等汽油蒸汽。油氣回收裝置采用活性吸附技術(shù)，將油氣中的烴類成分與空氣分離，以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。活性炭的再生是通過真空解吸來實(shí)現(xiàn)的，從而實(shí)現(xiàn)油氣的回收利用。

隨著我國對(duì)環(huán)境保護(hù)的重視程度不斷提高，國家和行業(yè)制定了各種法律、標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定，嚴(yán)格限制汽油和蒸汽的排放，并要求儲(chǔ)油庫和加油站增加油氣回收裝置，并符合排放濃度為25g/m3、油氣處理效率為95%的標(biāo)準(zhǔn)。

因此，干式真空泵在各個(gè)行業(yè)中具有廣闊的發(fā)展前景。