在真空狀態(tài)下,氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示,顯然,該壓力值越小則表示氣體越稀薄。
表述真空度或氣壓有多種單位,比如 kPa, Torr,mbar 等等,那么這些單位之間如何換算?各自的定義是什么呢?在各種情況下,不同的真空泵常用的真空計(jì)算公式有哪些呢?
常用的真空單位換算
1、國際標(biāo)準(zhǔn)單位:帕斯卡
真空指壓強(qiáng)(中文習(xí)慣上有時(shí)候也會說成壓力)低于大氣壓的氣體狀態(tài),在國際標(biāo)準(zhǔn)單位制(SI)中,壓強(qiáng)的單位是帕斯卡,簡稱帕(符號 Pascal 或 Pa ),它等于每平方米一牛頓。
帕斯卡是為了紀(jì)念法國學(xué)者(數(shù)學(xué)家、物理學(xué)家、化學(xué)家、音樂家、思想家...)帕斯卡而得名的。帕斯卡利用自己改進(jìn)的水銀氣壓計(jì),發(fā)現(xiàn)了隨著高度降低,大氣壓強(qiáng)增大的規(guī)律。
海平面附近的標(biāo)準(zhǔn)大氣壓約為101325 Pa。由于帕斯卡這個(gè)單位非常的小,不便于計(jì)算,有時(shí)候人們還會使用從帕斯卡衍生出的其它一些單位,比如百帕(hPa),1hPa = 100 Pa;千帕(kPa),1kPa = 1000 Pa;兆帕(MPa),1 MPa = 1000,000 Pa。
2、巴和毫巴
巴(符號 Bar )是一個(gè)工程上常用的單位,它被定義為 1Bar=100000 Pa。同時(shí)常用的還有毫巴(符號 mbar )。1mbar = 0.001 bar = 100 Pa = 1 hPa。
毫巴常被用于表示大氣壓力,氣壓單位既可用“百帕(hPa)”,也可用“毫巴(mbar)”,兩者是完全相等的。
3、托里拆利實(shí)驗(yàn)和托
托里拆利實(shí)驗(yàn)是人們認(rèn)識真空和大氣壓強(qiáng)的歷史上一個(gè)比較重要的實(shí)驗(yàn)。1643 年,意大利科學(xué)家托里拆利首先進(jìn)行了這個(gè)實(shí)驗(yàn),該實(shí)驗(yàn)直觀的證明了真空的存在,并測出了大氣壓強(qiáng)值相當(dāng)于 760mm 水銀柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)。
為了紀(jì)念托里拆利的貢獻(xiàn),后來把 1 mm 水銀柱的壓強(qiáng)表示為 1托(符號Torr)。與毫巴類似,常用的還有毫托(符號 mTorr ),1 mTorr = 0.001 Torr,由于 1 毫托表示的是 1 微米水銀柱的壓力,有時(shí)英美國家的文獻(xiàn)資料也會把1毫托叫做 1 micron。
有些時(shí)候,人們也會直接用水銀柱或水柱的高度來表示壓力,比如,1mmHg,表示1毫米水銀柱的壓力,1 inchHg 或者 1 inch of water,表示1英寸水銀柱或水柱的壓力,1 mm of water,表示1毫米水柱的壓力。
4、真空單位全圖表
下面表格整理了上面提到的單位與一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的對應(yīng)關(guān)系,這些單位之間也可以通過 1 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓來互相轉(zhuǎn)換。
5、流速與漏率
6、抽氣速率單位換算表
常用計(jì)算公式
1、玻義爾定律
體積V,壓強(qiáng)P,P·V=常數(shù)
一定質(zhì)量的氣體,當(dāng)溫度不變時(shí),氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。
即P1/P2=V2/V1
2、蓋·呂薩克定律
當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,其體積V與絕對溫度T成正比:
V1/V2=T1/T2=常數(shù)
當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。
3、查理定律
當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強(qiáng)P與其絕對溫度T成正比,即:
P1/P2=T1/T2
在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。
4、平均自由程:
λ=(5×10-3)/P (cm)
5、抽速:
S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P
Q=流量(托·升/秒) P=壓強(qiáng)(托) V=體積(升) t=時(shí)間(秒)
6、通導(dǎo):
C=Q/(P2-P1) (升/秒)
7、真空抽氣時(shí)間:
對于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式:
t=8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)
V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。
8、維持泵選擇:
S維=S前/10
9、擴(kuò)散泵抽速估算:
S=3D2 (D=直徑cm)
10、羅茨泵的前級抽速:
S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)
11、漏率:
Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)
V-系統(tǒng)容積(l)
P1-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)
P2-真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)
t-壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)
12、粗抽泵的抽速選擇:
S=Q1/P預(yù) (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t
S-機(jī)械泵有效抽速
Q1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)
P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)
V-真空系統(tǒng)容積(升)
t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間
Pa-大氣壓值(托)
13、前級泵抽速選擇:
排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:
PnSg≥PgS 或
Sg≥Pgs/Pn
Sg-前級泵的有效抽速(l/s)
Pn-主泵臨界前級壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)
Pg-真空室最高工作壓強(qiáng)(托)
S-主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)
14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式:
S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)
式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)
n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)
t-油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)
P-在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)
K-滴管系數(shù)(托·升/秒)
K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)
L-滴管刻度部分的長度(mm)
n-滴管刻度部分的格數(shù)(格)
Υ0-油的比重(克/厘米3)
Υm-汞的比重(克/厘米3)
Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)
△Vt-滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)
15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式:
S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm),Kv為容積利用系數(shù)(一般取95%)。
16、O型橡膠槽深B=0.7D
D為橡膠直徑,槽寬C=1.6B
17、方形橡膠槽深B=0.8A
A為方形橡膠邊長,槽寬C=1.67B