真空度：表示真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示，近年國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位，之前常用托（Torr）為單位，其中1托＝133.322帕。抽氣速率：單位m3/h或L/S，是指在一定的壓強(qiáng)和溫度下，單位時(shí)間內(nèi)真空泵進(jìn)氣口處抽走的氣體。其計(jì)算公式為：Sp＝Q/（P－P0），其中Q表示氣體量，P表示當(dāng)前壓強(qiáng)，P0表示大氣壓強(qiáng)。抽氣量：單位是m3/s或l/s，指泵入口的氣體流量。轉(zhuǎn)速：單位r/min，轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度。
極限真空：真空泵經(jīng)充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度為該泵的極限真空。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。何氏系數(shù)：真空泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子泄流計(jì)算的理論抽速之比。流導(dǎo)：表示真空管道通過氣體的能力，在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差，單位為L/s。標(biāo)準(zhǔn)大氣壓：是指在海平面高度上，氣溫為0°C時(shí)，大氣壓強(qiáng)約為101325帕斯卡（Pa），這個(gè)壓強(qiáng)值被稱為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。壓力或壓強(qiáng)：氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用Pa表示。起動(dòng)壓強(qiáng)：指泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。前級(jí)壓強(qiáng)：指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。最大前級(jí)壓強(qiáng)：指超過了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。最大工作壓強(qiáng)：只對(duì)應(yīng)最大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵。前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)地域其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級(jí)泵。粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效利用前級(jí)泵。為此配備一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵，就是維持泵。
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