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我們知道,半導(dǎo)體、集成電路等高科技制造工藝,都需要在真空環(huán)境下才能完成。同樣,鋰離子電池制造工藝也需要在真空下進(jìn)行。盡管鋰離子電池制造不要求極高的真空度,但是在電池制造過程中要求采用高度可靠的真空設(shè)備,所以選擇合適的真空泵顯得尤為重要。許多第一代電池制造設(shè)備采用安裝在設(shè)備內(nèi)部或附近的油封式旋片泵,盡